龍華科大林宗新副教授熱衷創新發明 馬來西亞發明展三度奪金
龍華科技大學化工與材料工程系(112年8月1日正式更名為半導體工程系)林宗新副教授及李九龍教授,指導系上學生李傳婷、楊尚樺、葉星妤、辜柏宏、鄭錦陽、王曲禾等6位同學,日前參加2023馬來西亞 ITEX 國際發明展,研發團隊以作品「Copper-rhodium (Rh) coating method(銅銠鍍層的製備方法)」,榮獲金牌殊榮。
林宗新副教授熱衷創新發明,曾於2017年以「作為緩衝層之銅鍍層及其製作方法」,以及2018年以「具有良好導熱性與照度的銅鍍層及其製備方法」作品於馬來西亞國際發明展連續獲得金牌,獲頒2022年第18屆國際傑出發明家學術國光獎章,並於今年5月初獲總統召見,此次得獎為其第三度奪金,充分展現優異研發實力!
林宗新指出,銅雖然導電性佳,卻易與矽基板起化學反應而使其應用受阻,而他的濺鍍銅合金薄膜研究,則考量在不使用阻障層的情況下,改將微量物質摻雜於銅鍍層中,藉此提升銅的穩定性。
林宗新研究發現,在IC晶圓封裝的鍍膜過程中,導入微量物質,退火後所添加之微量物質於界面生成一反應層,此界面層可扮演類似阻障層角色,抑制銅矽化合物反應,並進一步提升銅矽化合物形成溫度。除具備低電阻外,亦可簡化製程。
這項發明可運用在銅導線、IC晶圓與半導體封裝上緩衝層、LED元件散熱層與抗菌醫療器材上,應用相當廣泛,相較於國內外使用濺鍍銅合金薄膜阻障層製程,林宗新的研究為無阻障金屬化製程,具備可簡化製程、降低製造成本特點,期待日後與廠商合作,進入實際製程應用。
龍華科大校長葛自祥除恭喜師生團隊奪獎優異表現,他並表示,學校多年來積極推動產學鏈結、學用合一的實作教育,強調讓學子從做中學;同時開設多項三創課程,並提供跨域指導與學習,以增進學生創新、創意、創業各領域所需專業知識及技能。
葛校長強調,學校鼓勵師生參賽累積經驗,展現研發成果並印證龍華科大的扎實技術與雄厚的研發實力。期望師生持續與業界交流,促進專利商品化,進而創造產品商用價值。
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